SAWSpec激光超声相速度频散分析系统

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来源: | 作者:teclab | 发布时间: 2015-08-03 | 5210 次浏览 | 分享到:

随着薄膜厚度越来越薄，其的力学性能的测量也变得非常困难。当薄膜厚度低于200nm时，常规的压痕法就无法得到准确地结果。表面波相速度频散分析法克服了超薄膜的力学性能准确测量的难题。

SAWSpec通过激光脉冲在样品表面激发出表面声波，当表面波在样品表面传播一段距离后再接收进行分析，通过分析表面波相速度的频散曲线计算分析出模量，厚度以及密度等参数。

SAW技术具有如下特点:

SAW技术在大量薄膜材料测量和研究上已取得了许多显著成果：

- 陶瓷膜 (TiN, Al2O3, SiC, TiC,ZrO2)

- diamond-like carbon

- CVD diamond

- boron nitride

- metals

- polymers

- Low-k Xerogel

部分应用案例：

HCA技术在不同温度基衬上沉积DLC薄膜并用SAWSpec测量的结果：

室温基衬上沉积4.2nmDLC薄膜，薄膜弹性模量 E=519GPa

160℃基衬上沉积5.2nmDLC薄膜，薄膜弹性模量 E=438GPa

250℃基衬上沉积4.5nmDLC薄膜，薄膜弹性模量 E=300GPa

无薄膜纯基衬的相速度为常数

参考文献：